1 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室, 上海 201800
2 中国科学院大学材料与光电研究中心, 北京 100049
3 暨南大学光子技术研究院, 广东 广州 511443
二维光栅是光刻机光栅尺系统的核心元件。搭建了超精密激光直写系统,基于二维超精密工件台,通过旋转基片90°进行两次曝光,制作出栅线密度为1200 line/mm的二维光栅掩模。原子力显微镜和扫描电镜结果表明,所制作的掩模轮廓清晰,空间分布均匀。实验结果证明了超精密激光直写系统能够制作出二维光栅掩模,在制作大尺寸、高精度二维计量光栅方面有着广阔的应用前景。
光栅 超精密系统 激光直写 栅距测量
1 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室, 上海 201800
2 中国科学院大学, 北京 100049
提出了横电、横磁偏振布拉格角入射下光栅模式的色散方程可进一步分解的理论,证明了分解得到的方程与光栅模式对称性间的等价关系。光栅模式的对称性有助于阐释光栅内部衍射过程的物理图像。通过讨论光栅模式方程的根的分布性质,提出了一种提高有效折射率计算效率的方法。
衍射 衍射理论 衍射光栅 色散方程 对称性
Author Affiliations
Abstract
1 Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China
2 University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China
3 Institute of Photonics Technology, Jinan University, Guangzhou 510632, China
A single-groove grating for five-port TE-polarization beam splitting under normal incidence at the wavelength of 1550 nm is presented. The transmitted diffraction efficiency of the gratings is over 94.5% with uniformity better than 2%. A physical view of diffraction inside the grating is presented by the simplified modal method (SMM). Initial parameters of the grating profiles are obtained by use of SMM and then optimized by employing rigorous coupled-wave analysis and the simulated annealing algorithm.
050.1950 Diffraction gratings 050.1970 Diffractive optics Chinese Optics Letters
2018, 16(7): 070501
